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P32三維θxθyZ向壓電偏轉鏡 6mrad 37.5μm$n壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件,內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計,外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng),補償量小,偏轉鏡具有較好的運動(dòng)精度和高穩定性,通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制,實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。《查看更多》
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